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SmartPlasma设备类型(RTR真空垂直式)

有机酸超粗化液

产品详情

性能特点


  • 满足干膜前处理和阻焊前处理所需粗糙度,干膜前处理微蚀量可低至0.4um,粗糙度Ra>0.30um

  • 产品不含氨氮,废水处理简单,符合环保要求

  • 铜含量最高可达60g/l,可大幅降低耗量,节约成本,并降低废水排放和处理成本

  • 超粗化前处理可取消烘烤,减少烘烤流程,颜色均匀,无色差缺陷


形貌对比


不同微蚀量电镀铜3510处理形貌对比

1631863051(1).png

Rz:3.46um Ra:0.25um  S/A:2.73(微蚀量0.51um)

Rz:2.89um Ra:0.39um S/A:0.65(微蚀量0.71um)

Rz:3.93um Ra:0.52um S/a:3.18(微蚀量0.71um)

         随着微蚀量增大,电镀铜面粗糙度和比表面积逐渐增加,可根据需求选择合适的微蚀量


干膜附着力


酸-12.jpg

    铜面用超粗化液3510微蚀0.5um后干膜附着力可达10um,干膜为RD1225(Hitachi)

    3510-3.png

  • 在超粗化的基板上,制作不同大小的pad,显影后用3M胶带拉扯,最小3*3milPAD不允许脱落。

  • 尚容超粗化基板,进行此类附着力测试,上图为尚容基板测试后的样品图,100个类似区域,无PAD掉落。

  • 日本某品牌超粗化基板,100个区域,亦没有掉落。

  • 国内其它供应商,最小pad掉落比例为95%。

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