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SmartPlasma设备类型(RTR真空垂直式)

硫酸双氧水中粗化液

产品详情

性能特点


  • 适用于内外层干膜前处理

  • 可清洁铜面,并较普通微蚀剂对铜面有更强的粗化作用,提升精细线路良率

  • 铜面咬蚀速率稳定,微蚀量为0.5um-1.2um时,Ra=0.2-0.25um, Rz=2.0-2.5um,S/A=1.8-2.0

  • 工作槽液中,可耐受20ppm的氯离子

  • 废水处理容易



处理效果


中粗化和普通微蚀外观对比

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       普通微蚀和中粗化微蚀外观对比,微蚀量为1um。左为普通微蚀外貌,为铜面颜色;右为中粗化外观,铜面偏红色。


普通微蚀和中粗化药水处理的形貌对比

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       相同微蚀1.0um微蚀量下,普通微蚀和中粗化微蚀形貌对比。左为普通微蚀,粗糙度Ra为0.17um,Rz为2.0um;右为中粗化,中粗化有更粗糙的表面,其Ra约为0.28um,Rz约为2.7um。

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